用等離子體清洗和腐蝕表面 等離子體清洗(用離子化氣體與要清洗的上海線路板表面產(chǎn)生機械或化學(xué)的相互作用）是一個干法工藝，它可用于處理表面，以改變表面能或表面活性。選擇恰當?shù)牡入x子體工藝參數(shù)可以使其成為等離子體清洗，它會使表面上的有機污染物得以清除(但對于無機污染物及微粒無效）。通過合適的等離子體處理，絕大多數(shù)的聚合物表面可以變?yōu)橛H水或憎水、酸性或堿性的，粘附力和/或潤濕性也能更適應(yīng)于后續(xù)工序的需要。在上海線路板行業(yè)使用等離子體處理的一個最通常的例子是：
????經(jīng)過氧等離子表面處理的Kapton?膜表面可以提高液體粘接劑的性能。這種等離子體處理改善了 Kapton?膜的潤濕性，并消除了由有沾污的粘接劑覆蓋所產(chǎn)生的表面孔洞。等離子體處理也可以通過腐蝕(化學(xué)反應(yīng)）聚合物表面除去由其他工序留下的殘留物，一個例子是除去上海線路板多層板在鉆孔操作中留在孔壁上的聚合物沾污。氧等離子體與碳聚合物鏈反應(yīng)可以以一氧化碳或二氧化碳的形式除去碳。在曝光和顯影之后，也會有很薄的一層殘留物留在本應(yīng)沒有感光膜的工作表面上，氧等離子體可以除去這些殘留物，并清潔其下層表面。這是上海線路板清洗表面安裝焊盤的一項非常成功的技術(shù)。當?shù)蛪簹怏w承載高能量輸人(通常是射頻或微波能量）時，這類氣體通過和高能電子碰撞發(fā)生游離和離化，這種電子、未發(fā)生反應(yīng)的氣體、中性的和離化的原子和分子碎片的混合物稱為等離子體。盡管最初的氣體可能化學(xué)上是惰性的，但電離后的碎片卻具有很高的活性，使各種化學(xué)反應(yīng)過程成為可能。例如：在室溫下氧分子和聚合物的反應(yīng)通常是很慢的，但是氧等離子體在室溫下卻可以“燃燒”，或者用反應(yīng)可以移去聚合物，而對于氧分子這樣的反應(yīng)只有在很高的溫度下才能進行。
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（02?—20*聚合物）+ (2x+y)0* ~-xC02+ (；y/2)H20 (8.1)這里，cr即氧離子。
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因此，等離子體加工過程經(jīng)常被描述成“低溫”過程，因為發(fā)生反應(yīng)的那些碎片自身的溫度最多不過幾百攝氏度（一般接近室溫）。
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